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09
2021
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真空泵機組應用領域
真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:①半導體行業:薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;②科學儀器行業:同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器
真空泵機組渦旋泵已被廣泛應用于諸多領域:①半導體行業:薄膜制造設備、半導體器件封裝設備;②科學儀器行業:同步輻射光束線機、電子顯微鏡、真空泵機組極光試驗設備、分析測試儀器;③機械設備行業:材料制備設備、真空檢測設備、真空過濾設備、材料提純設備、超高真空排氣設備;④醫療設備行業:牙科儀器、透析機;生物制品行業:材料提純與藥品制備;⑤包裝行業:食品、藥品、生物制品等包裝設備;⑥真空冶金行業:真空爐、納米材料制備設備、真空檢測設備等領域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級泵是獲得無油真空系統的最佳配置。它的主要運動件只有一個動渦旋盤，因而動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小、零部件少、結構簡單緊湊、整機尺寸小，動、靜渦旋盤之間、動盤與泵腔之間間隙小，泵內運動件與泵腔無摩擦，所以幾乎無磨損，運行平穩，消耗功率小，氣體流動損失小，工作可靠性高、壽命長，易于維修，維修費用低，容積效率高。采用空氣冷卻，無需水冷。
渦旋真空泵具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內具有穩定的抽速，由于壓縮腔容積的變化是連續的，因而驅動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。為實現渦旋泵有效工作的目的，必須使渦旋型線在各個真空氣腔良好嚙合，避免由于真空腔壓差大等因素導致渦旋壁受力情況惡化、產生熱變形、排氣腔一部分高壓氣體滯留和真空泵效率降低等情況。所以要保證渦旋型線之間的精確包容與嚙合，控制工作介質的泄漏，達到抽氣目的。這是渦旋泵結構設計的重要依據。在泵的抽氣流道中，無須使用任何油類和密封液體作為介質，依靠動、靜渦旋盤相對轉動形成吸氣腔和壓縮腔將被抽氣體排出，連續完成吸氣、壓縮和排氣過程。因此，如何防止泄漏解決密封的問題尤為重要。渦旋泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封，和徑向嚙合間隙的切向密封，即齒側密封。
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